اي ايل ڊي ايٽمي پرت جي جمع (ALD)
ايٽمي پرت جمع ڪرڻ هڪ پتلي فلم جمع ڪرڻ وارو عمل آهي جيڪو ترتيب وار، خود محدود مٿاڇري جي رد عملن تي ٻڌل آهي. اڳوڻن ۽ رد عمل جي نمائش کي الڳ ڪريو، انهن جي وچ ۾ صاف ڪرڻ جي مرحلن سان، بار بار چڪر ذريعي فلمون ٺاهيو.
ALD پتلي فلمون سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿينديون آهن جهڙوڪ هاءِ-ڪي ڊائيليڪٽرڪ، مٿاڇري جي پاسوائيشن، ۽ ڊفيوژن رڪاوٽون. ALD ڪوٽنگ چونڊيل سامان جي حصن لاءِ حفاظتي رڪاوٽ پرت پڻ فراهم ڪري سگهي ٿي. فلم مواد، جاميٽري، ۽ سروس جون حالتون مناسب عمل جو تعين ڪن ٿيون.
ڊي ايل سي هيرن جهڙو ڪاربن (DLC)
ڊي ايل سي ڪوٽنگون درست سيمي ڪنڊڪٽر سامان جي حصن لاءِ گهٽ رگڙ، لباس مزاحمتي سطحون فراهم ڪن ٿيون. ايپليڪيشنن ۾ شافٽ، پن، آستين، ۽ سلائيڊنگ حصا شامل آهن.
ڪوٽنگ جي چونڊ رابطي جي حالتن، سبسٽريٽ مواد، مٿاڇري جي ختم ٿيڻ، طول و عرض رواداري، ۽ آپريٽنگ گرمي پد تي غور ڪري ٿي. پروسيس ڪيميڪلز يا پلازما جي سامهون ايندڙ اجزاء کي اضافي مطابقت جي تشخيص جي ضرورت آهي.
سي آهي ٽيٽرا هيڊرل امورفس ڪاربن (ta-C)
ta-C هڪ سخت ڪاربن ڪوٽنگ آهي جيڪا انهن حصن لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي جن کي اعليٰ لباس مزاحمت ۽ ڪنٽرول ٿيل مٿاڇري جي خاصيتن جي ضرورت هوندي آهي. اهو گهربل درست رابطي جي ايپليڪيشنن کي سپورٽ ڪري سگهي ٿو جتي سبسٽريٽ سپورٽ ۽ ڪوٽنگ چپڪندڙ مناسب آهن.
ta-C محلول چونڊڻ وقت ڪوٽنگ جي ٿلهي، باقي دٻاءُ، مٿاڇري جي ختم ٿيڻ، ۽ جزو جي جاميٽري تي غور ڪيو وڃي.