ڪوٽنگ جي ترقي

نموني سسٽم کي ڪوٽنگ چيمبر ۾ لوڊ ڪريو.

جڏهن پي وي ڊي ڪوٽنگز جمع ڪيون وڃن ٿيون، ته پوءِ هاءِ ويڪيوم جي ضرورت آهي. هوشينگ جو ڪوٽنگ سسٽم ٻن مرحلن ۾ اڳتي وڌندو آهي: پهريون، ميڪيڪل پمپ ويڪيوم چيمبر پريشر کي 1000mbar کان 10-1mbar تائين گھٽائي ٿو؛ پوءِ، ٽربو ماليڪيولر پمپ تقريباً 1X10-6m بار جو هاءِ ويڪيوم پيدا ڪري ٿو.

چيمبر کي تقريباً 500 ℃ تائين گرم ڪريو، جيڪو روايتي عمل جو گرمي پد آهي.

هوشينگ جو ڪوٽنگ سسٽم ٽي مختلف ايچنگ پروسيس ٽيڪنالاجيون استعمال ڪري ٿو: HUASHENG® (ليٽرل گلو ڊسچارج)؛ آرگن پلازما ايچنگ، گلو ڊسچارج؛ ميٽل آئن ايچنگ (Ti+, Cr+).

ڪوٽنگ جمع ڪرڻ PVD (آرڪ آئن پليٽنگ، ميگنيٽرون اسپٽرنگ يا انٽيگريٽيڊ ڪيٿوڊ HUASHENG® ٽيڪنالاجي) استعمال ڪندي حاصل ڪيو ويندو آهي.

ڪوٽنگ چيمبر کي ٿڌو ڪريو.

ڪوٽنگ چيمبر مان نموني سسٽم کي لوڊ ڪريو.